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日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀

簡(jiǎn)要描述:

日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀,應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體制造 檢測(cè)方式:自動(dòng)吸引式 檢測(cè)原理 熱線型半導(dǎo)體式

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日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀

特點(diǎn)

●  小型·輕量

●  可以檢查非常微量的氣體泄漏

●  *適合氫氣相關(guān)設(shè)備的保安

●  搭載的泵有自動(dòng)停止功能

●  搭載[自動(dòng)氣體排氣模式]功能

●  保護(hù)等級(jí)約為IP22(JIS C  0920)※安裝皮套時(shí)

 

 

02.產(chǎn)品用途

●  半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等

●  在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)

 

日本新宇宙半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀

產(chǎn)品參數(shù)

型號(hào)

XP-703DⅢ

檢測(cè)對(duì)象氣體

H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3

檢測(cè)原理

**型半導(dǎo)體式

采集方式

自動(dòng)吸引式

可檢測(cè)泄漏量

H2 :5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3:1.52×10-7

可檢測(cè)濃度

H2 :5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3:1.52×10-7

反應(yīng)時(shí)間

10秒以內(nèi)

顯示方式

液晶數(shù)字(手動(dòng)背景燈)

電源(額定)

5號(hào)堿性干電池(LR6)  2節(jié)

電池使用時(shí)間※1

約12小時(shí)(5號(hào)堿性干電池、25℃時(shí))

保護(hù)等級(jí)※2

相當(dāng)于IP22※3

使用壓力范圍

大氣壓(800~1100kpa)

使用溫濕度范圍

0~40℃/85%RH以下(但不能結(jié)露)

外形尺寸

W38×H130×D32㎜(突出部分除外)

重量

約190g(包括電池、皮套)

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